首页 > 案例 > 鸣志特种电机系列简介 (一)真空环境型步进电机

真空的电动机不会将污染物带入环境,因此非常适合需要避免脱气的敏感环境,尤其是在半导体制造过程中,同时真空的电动机通常用于真空室中以进行测试和制造,也用于太空飞船及卫星。



没有一个系统是 100%有效的,在电动机线圈通电时会产生热量,而在真空应用中使用常规电动机时,热量会成为问题,这主要有两个原因:电动机性能下降和电动机寿命缩短。


永磁体的磁场强度会随着热量的增加而降低,这会导致电动机性能下降。这直接影响电动机的扭矩输出;在某些温度下,电动机将完全停止运行。其次,热量会极大地影响电动机所用轴承的寿命,因此会缩短整个系统的寿命。


在真空环境中,气体被去除,几乎没有对流,并且将热量从电动机中散发出去。尽管常规电动机的设计考虑了热对流,但是当常规步进器在真空环境中运行时,热量会迅速累积并克服电动机。当滞留在电动机内部的气体膨胀时,会将有害污染物引入环境,这会极大地影响附近的其他组件,例如传感器和敏感的仪器。在真空环境中,必须不惜一切代价避免排气。这就是为什么我们的真空额定电机旨在最大程度地减少排气的原因。


所有电机组件(端盖,定子,转子和螺钉)均由低放气材料制成。设计中还包含了特殊的密封轴承。另外,所有组件都经过彻底清洁和真空烘烤。烘烤过程完成后,将电机组装在洁净室环境中并进行真空密封,以确保运输过程中没有污染物进入包装。



为了制造出市场上最清洁的电动机,我们创建了自己的电动机组装过程,并将结果与已知竞争对手的电动机进行了测试。为此,我们将电机放入正流动腔(氮气气体流量为 1mm / 1min)中,并在温度为 125° C 的 72 小时内测量了其排气量。然后,我们进行了以下测量:


总质量损失百分比(% TML) - 百分比越大,样品污染越严重。


总质量损失(微克 / 电动机) - 这是从样品蒸发进入腔室的质量的重量。数量越大,样品污染越严重。



测试结果: